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交流電源解決方案--半導(dǎo)體制造行業(yè)-研發(fā)部

發(fā)表時間:2023-03-09 17:46作者:DD
交流電源裝置
半導(dǎo)體制造裝置廠商D公司研究開發(fā)部

取得半導(dǎo)體制造裝置的“SEMI標(biāo)準(zhǔn)”時存在意想不到的陷阱…發(fā)現(xiàn)非常適用于試驗的交流/直流穩(wěn)定電源。找到了解決堆積如山的課題的突破口!

在世界各地的半導(dǎo)體制造裝置的需求不斷高漲的背景下,D公司決定開發(fā)不受國家和地區(qū)的限制,可以靈活使用的制造裝置。但是,為了取得行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)“SEMI標(biāo)準(zhǔn)”而經(jīng)歷了無盡的艱難險阻。

課題

沒有滿足試驗條件的電源裝置,開發(fā)陷入了止步不前的狀態(tài),如果一直這樣下去的話…

D公司所遇到的難題是“SEMI標(biāo)準(zhǔn)”中關(guān)于EMC(電磁兼容性)的標(biāo)準(zhǔn)“SEMI F47”。這是在半導(dǎo)制造裝置中所要求的電源波動試驗(電壓暫降抗擾度)。

D公司研究開發(fā)部的F先生這樣回顧當(dāng)時的情況。
“本公司所擅長的大型半導(dǎo)體工藝裝置容易受到電壓下降的影響,這是難點所在。因此,在最嚴(yán)重的情況下,甚至有可能導(dǎo)致生產(chǎn)線停止和晶圓損傷等問題。為了證明可以規(guī)避這些風(fēng)險,對本公司來說,取得SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證是必由之路?!?/p>

但是,D公司持有的試驗用交流/直流穩(wěn)定電源存在幾個問題。過去的電源電壓和頻率不能任意調(diào)整,在精度方面也存在疑問,而且沒有可以實施100kVA以上大容量試驗的交流電源。
“為了使用現(xiàn)有設(shè)備建立試驗條件,我們想了很多辦法,包括將電源進(jìn)行并聯(lián)和串聯(lián)等等,但是,從設(shè)備規(guī)格上來看是很難實現(xiàn)的。另外,除電源波動試驗之外,在電波暗室中實施的噪聲評估試驗等的其他試驗也需要可以靈活使用的電源?!保╕先生)

在找不到滿足試驗條件的電源的情況下,研究開發(fā)部完全處于束手無策的狀態(tài),新半導(dǎo)體制造裝置的開發(fā)止動不前。

課題的關(guān)鍵

  • 大型半導(dǎo)體工藝裝置容易受到電壓下降的影響


  • 為了證明可以避免因電壓下降引起的事故導(dǎo)致的生產(chǎn)線停止和晶圓損傷等問題,需要獲得“SEMI F47”標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,順利完成試驗


  • Q公司所持有的試驗用交流/直流穩(wěn)定電源在電壓,頻率的任意調(diào)節(jié),設(shè)置,精度,大容量試驗,噪聲評估試驗等方面的問題堆積如山


解決這一課題的方法是?


解決

解決的關(guān)鍵

  • 菊水電子工業(yè)的交流/直流穩(wěn)定電源PCR-WEA/WEA2系列的產(chǎn)品陣容中包含超大容量單機(jī)箱支持36kVA的型號。不同型號之間也可以實現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行


  • 在小型化機(jī)箱尺寸中囊括了充分的性能,包括輸出頻率1Hz?5kHz,輸出電壓AC 0~320Vrms / DC 0~±452V


  • 在使用演示機(jī)進(jìn)行的評估試驗中,也因其出色的易用性和極高的精度而贊不絕口


通過PCR-WEA/WEA2系列可以按照與SEMI標(biāo)準(zhǔn)相同的條件進(jìn)行試驗,順利解決問題!

倍受困擾的研究開發(fā)部成員使用“SEMI標(biāo)準(zhǔn) 交流穩(wěn)定電源”的關(guān)鍵詞在網(wǎng)站上進(jìn)行搜索。在搜索的過程中找到了菊水電子工業(yè)的交流/直流穩(wěn)定電源PCR-WEA/WEA2系列的信息。
“從網(wǎng)站上下載的產(chǎn)品目錄中介紹的配置來看非常具有吸引力,這種配置的話應(yīng)該能夠充分滿足試驗條件,因此非常期待?!保╕先生)

PCR-WEA/WEA2系列的特點是超大容量單機(jī)箱,有最高支持36kVA的型號,最高可達(dá)144kVA(36kVA×4臺),不同型號之間也可以并聯(lián)運(yùn)行。另外,輸出頻率為1Hz?5kHz,輸出電壓為AC 0?320Vrms / DC 0?±452V,這種配置綽綽有余。另一方面,配置如此之高,但機(jī)箱尺寸非常小,6kVA型號也只有430W×262(345)H×550(620)D mm。

F先生立即向菊水電子工業(yè)咨詢,就目前存在的課題進(jìn)行協(xié)商后,菊水電子工業(yè)的營業(yè)主管立即提出了使用演示機(jī)進(jìn)行測試評估的建議。馬上進(jìn)行評估后,對其出色的易用性和極高的精度而贊不絕口。

“菊水電子工業(yè)的交流穩(wěn)定電源可以完成電源波動試驗,而且,這種機(jī)型的性能完全可以滿足電波暗室的噪聲試驗用電源的要求,這對我們來說太有用了?!保╕先生)

F先生馬上向上級匯報,決定采用PCR-WEA/WEA2系列。
目前,正在為獲得“SEMI標(biāo)準(zhǔn)”認(rèn)證而順利進(jìn)行試驗。

進(jìn)一步探尋菊水高效交流穩(wěn)定電源PCR-WEA/WEA2系列產(chǎn)品對貴公司有何作用


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